用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ

特征:

    通過(guò)采用含有催化劑的熱分解器,實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來(lái)的影響
    單觸式的傳感器更換方式
    搭載新型智能化傳感器
    采用易于觀察的大型字符LCD
    搭載流量自動(dòng)調(diào)整功能

用途:

    用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠(chǎng)內(nèi)的C4F6/C5F8/COS
    用于對(duì)儲(chǔ)氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測(cè)
    用于無(wú)塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)

產(chǎn)品類(lèi)別

固定式

類(lèi)型

智能型檢測(cè)部

檢測(cè)對(duì)象氣體

C4F6/C5F8/COS

檢測(cè)原理

催化+定電位電解式

檢測(cè)范圍

05ppmC4F6?C5F8
0
15ppmCOS

報(bào)警設(shè)定值

1st2ppm/2nd:4ppmC4F6?C5F8
1st
5ppm/2nd:10ppmCOS

檢測(cè)方式

泵吸式

報(bào)警種類(lèi)

氣體報(bào)警/故障報(bào)警

報(bào)警內(nèi)容

1stALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
2st
ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)

電源

AC100240V±10%

外形尺寸?重量

180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
6.0kg

使用時(shí)的溫濕度范圍

2040℃無(wú)驟變
40
70%RH(無(wú)結(jié)露)